300mm Polishing 공정 정보 자동화 구축(DSP/EP/FP)

• System

  • Polishing 설비 공정 정보 자동화 시스템

• Product

  • T-DrimBox(LIDC1504, LIDC1510)
  • DrimBox, DrimBox Plus
  • DrimSECS

• Equipment

  • DSP 공정 장비
  • EP 공정 장비
  • FD 공정 장비