Product

Smart Automation Leader - DrimSys

DrimFOUP

개요

반도체 공장 내의 생산 FOUP 과 동일하게 움직이며,
공장 내 반송지시에 맞춰 이동시, 장비 및 Stocker의 다양한 FOUP내 환경 데이터를 수집하여 분석할 수 있도록 하는 제품입니다.

특징

  • Stocker 별 상태 정보 수집
  • 파티클, 진동, 위치, N2 유량, 온도 습도 등의 정보 등을 수집

제품설명


 

주요실적

  • SK 하이닉스 Recipe Backup System 구축