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DrimFOUP
DrimFOUP
DTH2014
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DrimFOUP
개요
반도체 공장 내의 생산 FOUP 과 동일하게 움직이며,
공장 내 반송지시에 맞춰 이동시, 장비 및 Stocker의 다양한 FOUP내 환경 데이터를 수집하여 분석할 수 있도록 하는 제품입니다.
특징
Stocker 별 상태 정보 수집
파티클, 진동, 위치, N2 유량, 온도 습도 등의 정보 등을 수집
제품문의
제품설명
주요실적
SK 하이닉스 Recipe Backup System 구축