TTTM (Tool To Tool Matching) 

장비에서 제공되는 다양한 데이터 (Source Parameter, Tool Alram, Event, Log, 수율, 측정 데이터등)와 제조 생산 데이터를 접목하여 장비의 안정적인 운용으로 장비의 생산성을 안정화 시키고 보다 안정화된 장비의 생산성을 기반으로 제품의 수율 향상에 기여.

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  • System Integrated Service