Business

Smart Automation Leader - DrimSys

사업실적

[2023] LAM R&D 센터 Subcomponenet 데이터 수집 시스템 구축

DrimBox 및 DrimBox Plus를 이용하여 장비 내 압력센서 Data를 수집하여 상위시스템과 Interface 구축 


 

  • System
    • 센서 Data수집 시스템
  • Product
    • DrimBox
    • DrimBox Plus
  • Equipment
    • Novellus Altus