OCMS - 1000是Chemical浓度测定装置, 支持Multiple Connectivity、Advance User Interface等的功能, 保有SECS Driver的内置和Dispatching功能, 可顺利地扩展系统间的界面。

OCMS - 1000的引进与制造设备采用的通信协议方式无关, 可向MES, EAP (TC), FDC等上位系统迅速地传送信息, 可广泛地适用于半导体 / 显示器制造企业的新工厂乃至原有的工厂。

• 为了用户的便利提供对话型UI
• 替代海外的高价产品
• 作为国策事业进行国产化
• 使用精密测定传感器, 实时显示和传送浓度和温度的功能
• 可与FDC联结的SECS数据同步化功能
• 支持各种形态的界面 (RS485, TCP / IP, PLC)
• 可与PC或PLC联结的RS-485数据同步化功能
• 可与PC或PLC联结的4~20mA电流数据同步化功能