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System

Smart Automation Leader - DrimSys

부대 설비 DATA 수집

개요

제품 생산 / 분석에 직접적으로 관여된 주 설비를 보조하는
부대 설비의 상태, 환경, 알람 등의 데이터를
수집 관리하여 주 설비의 가동률을 높이는데 활용됩니다.

특징

  • 다수의 부대 설비 데이터 수집 이력
  • 설비 데이터 실시간 수집
  • 상위시스템이 사용하는 메시지 형식으로 변환하여 전달 가능

관련제품 * 제품 이미지를 클릭하시면 상세 페이지로 이동합니다.

Vender & Model

  • 제조사
    모델명
  • 제조사
    모델명
  • Edwards
    IXH2530 / IGX1000N / IH1800 / IH1800HTX / IH1000MK5
  • LOT
    DD1055PW / DD605P / DD1205P / HD2000P / HD3000 Series / HD120P
  • Adixen
    ADS1202H / 3CHEM A100P / A803H / ADS602P / ADS602H / A1803H
  • Unisem
    ATOM1000(s)-17 / UN2004A-PGS / PGSUN2004A-PGS
  • GST
    MK-3 1.8 / MK-3 2.0 / MK-3 DVO / MK-3 1.8 MINI
  • Kanken
    KT1000MFS-G / KT1000MF / KT1000MFS-G
  • MAT
    MAT507BW / MAT507BWA / MAT507BWS / MAT509HW
  • GNBS
    WLS1000
  • BOBOO
    Auto Gate Valve / HOT N2 / Heatjacket
  • J-Sol
    HOT N2
  • SMI
    Heatjacket
  • MI
    Heatjacket
  • Cymer
    XLA165 / 7010
  • Ebara
    EST500WN / A300W-M / EV-M302V / EV-M502N-BE / A500W-T
  • Kashiyama
    SDEM30KT / SDE30M20 / HS1203X-ST
  • Entegris
    Mini Pump
  • CSK
    CHAOS-S / CHAOS-PS / HESTIA-S / CS095SC
  • 영진
    HPS-02 / HPS-04 / HPS-04R / HPS-04S / HPS-04M / HPS-04R
  • KPC
    KSH-400-DD / KSH-400-SB / KSH-400-DD6 / KSH-400-S17
  • PTC
    BW400SN / PGS-256S
  • DOORI
    Auto Gate Valve
  • Teratech
    Auto Gate Valve
  • Husem
    Heatjacket
  • Hot&Cool
    Heatjacket
  • 한양기공
    Gas Cabinet GK2000
  • Gigaphoton
    GT40A / G41K4

레퍼런스

  • SK 하이닉스 이천, 청주, 우시 Sub Component 데이터 수집
  • 삼성전자 NRD Pump 데이터 수집
  • 삼성 디스플레이 Pump 데이터 수집
  • SK 하이닉스 Kashiyama Pump 데이터 수집
  • 삼성전자 LCD연구소 Scrubber 데이터 수집
  • (일본) 도시바 반도체 Unisem Scrubber 데이터 수집
  • SK 하이닉스 이천 Heatjacket 데이터 수집
  • SK 하이닉스 Photo 공정 Laser 설비 데이터 수집
  • (미국) TriQuint Laser 설비 데이터 수집

적용 고객사

  • 삼성전자
  • SK 하이닉스
  • (일본) 도시바 반도체
  • (미국) TriQuint
  • 삼성 디스플레이
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