개요

OCMS - 1000는 Chemical 농도 측정 장치로 Multiple Connectivity, Advance User Interface 등의 기능을 지원하며, SECS Driver의 내장과 Dispatching 기능 보유로 시스템간의 인터페이스를 원활하게 확장하여 줍니다.
OCMS - 1000의 도입은 제조 장비에서 채택하고 있는 통신 프로토콜 방식과 관계없이 MES, EAP (TC), FDC 등의 상위 시스템으로 정보의 신속한 전달이 가능하게 하며,
반도체 / 디스플레이 제조업체의 신규 공장에서부터 기존 공장에 이르기까지 폭 넓게 적용이 가능합니다.

특징